國儀量子聯合中國科學技術大學微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實現樣品在室溫至1100℃范圍內的精準控溫與微觀動態分析，為高溫環境下材料行為研究提供全新工具。

該方案采用國儀自研雙束電鏡與專用MEMS加熱芯片，控溫精度優于0.1℃，測溫分辨率優于0.1℃，同時具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優勢，有效保障高溫下的分析穩定性。系統支持在加熱過程中同步開展微區形貌觀測、EBSD晶體取向分析、EDS成分檢測等多項表征，全面揭示材料在熱場作用下的相變、應力演化與成分遷移規律。

該聯用方案無需破真空，既可滿足制樣+表征(原位微區EBSD)的全流程使用需求。